采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）法，通过快速热处理，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备出Pb（Zr，Ti）O3成分梯度薄膜。经俄歇微探针能谱仪（AES）对制备的上梯度薄......

运用数字锁相技术研究了Pb（Zr, Ti）O3 （PZT）铁电薄膜的介电性能测试技术，随着薄膜微图形化尺寸的缩小，电路寄生参数的影响将逐渐变大并成......

首先利用脉冲激光沉积技术在（001）取向的SrTiO3基片上外延生长了SrRuO3底电极和PbZr0.20Ti0.80O3（PZT）薄膜,然后利用扫描探针显微镜的......

根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb（Zr,Ti）O3薄膜......